NIL纳米压印设备在能耗方面相比EUV可以降低90%。

    同时由于转换率更好研发成本更低，比EUV研发成本降低60%左右，所以纳米压印也被视为目前最有可能替代EUV实现7纳米以下制程的一项主流的光...

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