1987年10月12日，101所芯能光刻机厂迎来了三名特别的客人。

    左洋，顾仁达，丁邦开，三名在德州仪器芯片加工厂工作的湾岛人。

    东升船业付了钱，他们三个人只需要在这里呆一个月。

    赵国庆亲自接待了他们，还有何振华教授，卢怡榕总师，王丽嘉，刘成敏，吕金超，水泉祥几个芯能光科机厂的骨干。

    小赵老师期待值很高，特别是听到左洋说德州仪器，已经攻克八百纳米制造工艺时。

    “德州仪器用的是什么型号的光刻机？用的什么光源？”

    左洋说：“用的是尼康nsr120步进式扫描光刻机，光源还是用的高压汞灯的i线，asl生产pa2000厂里也有两台，德州仪器去年还买了两台gca公司的激光扫描光刻机，可以很轻松的实现800纳米制程！”

    激光这个词让赵国庆很是敏感，他问道：“用的什么激光？”

    丁邦开摇摇头说：“我们只是教你们使用pa2000光刻机的，其他的，抱歉！”

    好吧，那就是钱没给够，一人加了两万美元，赶上他们好几个月的收入，自然畅所欲言了。

    左洋说：“246纳米的紫光激光机，至于是什么样的激光器，就不知道了，反正用这台光刻机，我们掩膜版缝距可以缩小一倍。”

    光电雷达总师卢怡榕总师对赵国庆说：“赵所长，他们的激光器应该是用的氟化氪准分子激光器，我们所现在就在研究，只不过目前的技术，发射的激光功率还不够！”

    激光产生的条件，需要形成粒子数反转。那么当粒子数反转超过一定值后，就会形成振荡，产生激光。

    当激光发射以后，上能级粒子数就消耗掉了，所以振荡就停止了，直到下一次粒子数累积后再反转。这也就是为什么普通激光器峰值功率不能提高的原因。

    怎么提高激光的功率，他脑子里的方法可不止一种，调q技术，锁模技术，光学参量放大技术。

    本来想绕过氟化氪紫外激光，还有氟化氩深紫外线准分子激光，直接上x光光源的。

    小赵老师发现自己想多了，全世界在光源这一块最强的美利坚，他们也没办法制造一台asl深紫外光刻机，若是想要商用话，需要多方面的突破，紧紧依靠光源肯定解决不了。

    而且x光光源需要的技术难度也不小，开发技术上更成熟的深紫外激光器，还是有必要的。

    看来这些技术路线还是要走一遍。

    赵国庆对卢怡榕说：“紫外线、深紫外线激光光源下一步将是101所重点项目，还要加入极紫外光项目的研究！”

    卢怡榕笑了，能被101所升级到重点项目的，无论资金还是人员将受到极大的倾斜，不过？

    卢怡榕问道：“赵所长，极紫外线激光是怎么分类的，我怎么没听说过？”

    赵国庆说：“不一定是激光，波长13.5纳米的光源，仅次于x光的光源！”

    “……”

    小赵老师摇摇头，极紫外线光源技术保密程度极高，能查到的就是用二氧化碳激光机射击一个小小的锡球，辐射出13.5纳米的深紫外线，而且光线还是分散的，需要凹面镜来反射，怎么看都像是老美给出的技术陷阱。

    肯定有别的办法……

    湾岛人的职务都不高，好在都是一线的。

    小赵老师试探来试探去，他们对制程这块确实没太多研究，每天的工作也是公式化的，不过有个好处是，可以带来规范的车间管理。

    再问道芯片晶体管结构，小赵老师明悟了。

    想了想也难怪，现在i线386纳米光源还没利用到极限，intel目前量产的386处理器还用的1.5微米的制程，但386纳米光源的极限制程在600到800纳米之间。

    主要芯片加工厂在制程上，最需要解决的是合适的半导体结构，多是在晶体管物理层面上探索，使之更加适用于光刻而保证良品率。

    比如现在德州仪器所用的深沟槽，基底离子注入衬垫来解决800纳米制程带来的晶体管漏电问题，实际上也就是对本身的pn结构一种改良，并没有涉及到效应晶体管结构的革命，而inet鳍片式场效应晶体管才是突破。

    而制程一直到65纳米之后，光刻机光源才开始制约芯片制程的提高，到那个时候，人们才开始研究，如何突破现有波长的光源理论制程的极限。

    多重曝光技术也就是从那个时候开始的。

    小赵老师想明白这件事，心下对101所芯片制程的发展思路一下子放开了。

    inet场效应晶体管芯片他研究的够深入了，可以直接拿来上800纳米制程，计划三年内进入商用化。

    同时在多重曝光技术上加大投入，六年内，300纳米制程商用化。

    为此榨干pa2000光刻机最后的性能，386纳米光源的极限也就差不多了，最

    多到200纳米。

    而六年的时间，准备将氟化氪光源、氟化氩光源装到pa2000上，或者装到我们自己的光刻机上。

    130纳米，90纳米，65纳米，45纳米，28纳米，14纳米……

    一直到x光终结者光源上线。

    漫长的二十年芯片发展计划……

    次日，101所激光研究室，小赵老师亲自授课。

    “相位差恒定，振动方向一致，就会产生干涉，对吧！”

    “当锁定不同激光纵模即频率之间的相位差后，是不是就会将大部分能量集中到干涉增强处？”

    “你们看，这是普通未锁定相位的光强时域分布，这是锁定后的！”

    小赵老师短短几句话，就给卢怡榕团队打开了新思路，她们急忙拿起笔来计算。

    数十分钟后，卢怡榕神色激烈的对小赵老师说：“通过干涉这种方法，可以用多个激光发生器发出干涉，将脉冲宽度压缩到皮秒量级，甚至到亚飞秒量级，功率达到10^9量级，赵所长，你真的神了！”

    赵国庆摇摇头，拿下卢怡榕手上的笔，在纸上画了一个草图。

    “这是振荡器，这是展宽器，这是放大器，这是压缩器，你看光线先展宽、然后放大、再压缩成高功率短脉冲的激光……”

    “……”