李三彪疑惑，此时光刻机不是挺多的嘛？

    沈田惠掰着手指头数了起来：“四机部的1445所GK-4，是接触式光刻机，还比较落后。”

    “华清大学徐教授的第四代分步式投影光刻机，光刻精度达到3微米，...

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